D07-7B质量流量控制器说明书
编号 项 目 D07-7B 型
1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度 ±1.5 % F.S
3 线性 ±1 % F.S
4 重复精度 ±0.2 %F.S
5 响应时间 电特性: 10 sec
气特性: ≤ 4 sec
6 工作压差范围 (0.1 ~ 0.5) MPa
7 耐压 3 MPa
8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃
9 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10 电源 +15 V 50 mA
-15V 200 mA
11 外形尺寸 见图4
12 重量 1.1 kg