MetroChip校准标样置于750μm 厚、20x20mm的芯片上。在作SEM校准时,可以得到高对比度图像,充电效应最低,校准范围宽,由4mm至100nm。校准内容包括:对中标记、线性微刻度、变形测量、图像偏移、分辨率、像散校正等。该集成式设计使MetroChip成为SEM、FIB和FESEM校准的理想标样,它亦可用于光镜和AFM校准。Microscope MetroChip 校准标样溯源至NIST认证。适用SEM、FIB、AFM及光学显微镜
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