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核心参数
规格: 克
货号: H-SiOx
HSQ (Hydrogen Silsesquioxane Polymers) 是⼀种半导体级纯度的氢倍半硅氧烷聚合物。作为半导体⾏业的⼀种重要材料应⽤于超⾼分辨EUV光刻、电⼦束光刻,以及作为旋涂玻璃层(SOG)应⽤于半导体⾏芯⽚表⾯平坦化层和介电层以及中间层等。
为了满⾜各位⽼师对⾼品质电⼦束光刻胶的需求,汇德信与加拿⼤AQ Materials建⽴深度合作关系,旨在为各位⽼师提供灵活且易于存储的H-SiOx(HSQ)超⾼分辨率电⼦束负胶产品。
AQM开发了⼀种⽅便且通⽤的⽅法来合成电⼦级倍半硅氧烷基(由硅和氧核,H-SiOx组成)树脂。这类聚合物/树脂是⼀款超⾼分辨率的电⼦束负胶⽤于纳⽶电⼦器件制造过程。我们的H-SiOx聚合物具有最佳的分⼦量,可以在普通有机溶剂(例如甲苯和甲基异丁基酮)中制成均匀的溶液,获得⾼质量薄膜。可以获得具有⼩于10 nm半周期(视光刻胶厚度)的密集图案。
图2 H-SiOx制成的菲涅⽿波带⽚①
成膜性好
高分辨率(<10 nm特征尺寸)
优异的线条边缘粗糙度
良好的耐干蚀刻性能
粉末形式可灵活配制不同厚度
在20°C下具有非常长的保存周期(粉末形式)
H-SiOx具有与经典HSQ相同的超⾼分辨率和优异的耐⼲法刻蚀能⼒。但相⽐于经典HSQ产品以粉末形式存储,保质期更⻓,可根据应⽤灵活配置浓度获得不同胶厚的薄膜。可使⽤通⽤TMAH显影液或者盐显影液进⾏显影⼯艺,分别可获得⾼灵敏度(对⽐度约为4.8)或低灵敏度⾼对⽐度(约为8.7)的结果②,可满⾜不同应⽤场景的需求。
为了更好的服务⼴⼤客户,我们针对H-SiOx产品采取粉末形式交货,延⻓产品的使⽤寿命,客户可根据⾃⼰的实际膜厚需求配置,为⽅便⼤家使⽤,我们免费赠送MOS级MIBK溶剂,以及过滤器,⽅便客户使⽤!
关于H-SiOx超⾼分辨率电⼦束负胶产品,如果您有任何问题或者需要产品资料,请随时联系我们!
参考文献:
① Application of HSQ electron beam resist for silicon photonic applications, courtesy of Applied Nanotools Inc.
② https://doi.org/10.1116/1.5079657
企业名称
北京汇德信科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110108000407037
成立日期
1999-05-07
注册资本
200
经营范围
科技产品的技术开发、技术咨询、技术服务、技术培训;经济信息咨询服务;劳务服务;组织文化艺术交流活动;企业形象策划;机械设备维修;销售机械设备、电器设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、五金交电、百货、仪器仪表、电子计算机及软件、汽车配件、工艺美术品、木材、金属材料、建筑材料、装饰材料;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
公司地址
北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118
客服电话
光刻胶/抗蚀剂_导电胶_耐刻蚀胶
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特殊功能光刻胶 AR 300-80 new 增附剂
特殊功能光刻胶 SX AR-PC 5000/41
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电子束光刻胶 AR-N7700
特殊功能光刻胶 SX AR-P 3500/8
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紫外光刻胶 AR-N 4400
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紫外光刻胶 AR-P 5300(AR-P 5350)
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紫外光刻胶 AR-P 3510,3540;AR-P3510(T),P3540(T)
紫外光刻胶 AR-P 3200(AR-P 3210,3220,3250)
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公司名称: 北京汇德信科技有限公司
公司地址: 北京海淀区西三旗建材城中路12号1幢平房118 联系人: 李先生 邮编: 100096 联系电话: 400-860-5168转0250
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