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掩模板保护膜安装仪器是一种用于在半导体制造过程中,对掩膜板进行保护的设备。它主要通过将透明感光胶片覆盖在掩膜表面,从而保护其免受化学和物理腐蚀的影响。 这种仪器通常由一个带有微调机构的平台、一个紫外线曝光灯、一个胶片夹具和一个真空吸附系统组成。在使用过程中,首先需要将掩膜板插入到胶片夹具中并固定好,然后将感光胶片放置在掩膜表面,并利用微调机构进行精确对准。最后使用真空吸附系统固定感光胶片,并使用紫外线曝光灯进行曝光。 掩模板保护膜安装仪器可用于生产半导体芯片、液晶显示器和其他微电子产品。它可以提高生产效率,同时保护掩膜板,延长其使用寿命,从而节约生产上的成本。
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