气体质量流量控制器M3030系列

该系列产品应用特定的热传感器和控制电路，保证的测量的高准确度，允许在更广泛的操作条件下获得更精确的数据。
质量流量控制器被广泛应用于半导体工业及其他工业领域。传感器设计为糙面，容易使用。
应用范围：
所有工业行业 
精确的气体混合&分析 
表面处理工业（PVC，CVD反应堆等）的气体注射 
半导体工业 
组分泄露探测 
研发 
高压工业 
光纤 
燃料电池（油箱） 
反应堆系统 
气体混合系统 
实验室 

产品型号： M3030V
流量范围 (N2)： 5~35000毫升/分钟
响应时间： ≤3秒
准确度： ≤±1% 满量程
重复精度： ≤±0.25% 满量程
输出输入信号： 0~5Vdc
供电： ±15Vdc，350毫安
耐压 ： ≤90 bar
工作环境温度： 0~50 °C 

产品型号： M3030A
流量范围 (N2)： 5~35000毫升/分钟
响应时间： ≤3秒
准确度： ≤±1% 满量程
重复精度： ≤±0.25% 满量程
输出输入信号： 0~5Vdc或4~20毫安
供电： ±15Vdc，350毫安
耐压 ： ≤90 bar
工作环境温度： 0~50 °C

测量原理：
气流被一个分层气流支路恒速分流，气体分子通过传感器。携带热量的下行气流在RTD之间产生一个温差，这个温差同质量流量速率成比例。