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炉管为陶瓷管，带不锈钢封头。
采用双程滑动旋叶泵、水冷油扩散泵、手动初级泵和气门挡。
备选件包括： 带安全装置的进气口，用于充入易燃气体的情况。
用于进出气体的流量计和阀。
三段温度控制。
半自动或全自动的真空/加热循环。
垂直炉管。
高性能的VTF系列真空高温炉，采用水平安装的炉管，最高工作温度为1200℃或1500℃。
低真空度采用Pirani真空计，高真空度采用Penning真空计。
在炉管空载情况下，真空度优于1×10－5 mbar。
