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涡轮分子泵
仪器简介:
F系列涡轮分子泵利用高速转动的转子携带气体分子获得超高真空,极限真空度可达10-8Pa,不能直接对大气排气,需要配置前级泵,广泛应用于表面物理和分析仪器、等离子体物理和空间研究、核聚变反应装置、高能加速器、真空镀膜、真空冶炼、半导体和光学器件制造等需要高真空和超高真空领域。
主要特点:
· 理想的动平衡,震动和噪音小。
· 陶瓷轴承使用寿命长。
· 无油,不会产生碳氢化合物。
· 压力10-1~10-8Pa范围内均有恒定的抽速。
· 免维护,经久耐用。
· 体积小,重量轻。
技术参数:
型号 极限压力(Pa) 抽气速率(L/s) 压缩比 转速(RPM) 启动时间(min) 前级压力(Pa) 前级泵抽速(L/s) 冷却水温度(℃) 冷却水压力(MPa) 烘烤温度(℃) 重量(kg)
F-150/450 10-6 10-8 450 108 102 24000 <5 10 8 16 0.2 120 35
F-250/1400 10-6 10-8 1400 108 104 24000 <10 10 30 16 0.2 120 70
F-400/3500 10-6 10-8 3500 1010 104 15000 <30 10 70 16 0.2 120 160
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