质量流量计

流量範圍 3Sccm~30Slpm
最大的入口壓力 150psig(Max1500psig)
操作壓力正常範圍 5~50psid
控制範圍 50~1
準確選擇(類比) ±1.0% of F.S
線性 In Accuracy
重複性 ±0.25% of F.S
反應時間 Flow signal:<0.3sec
溫度系數 ±0.1% F.S/°C(N2)
正常的工作溫度範圍 5°C to 65°C
輸入電壓 ±15VDC 350mA
類比輸入/輸出信號 0~5Vdc
連接器類型 15-pin D-sub
本體材料和封條類型 SS 316L & Viton ,Buna-N , Kalrez
漏率標準 1*10¯9 atm scc /sec He
管路接頭型式 1/4"VCR,1/4"SWG
　 1/4"VCO,3/8"SWG

流量範圍 3Sccm~30Slpm
最大的入口壓力 150psig(Max1500psig)
操作壓力正常範圍 5~50psid
控制範圍 50~1
準確選擇(類比) ±1.0% of F.S
線性 In Accuracy
重複性 ±0.25% of F.S
反應時間 Flow signal:<0.3sec
溫度系數 ±0.1% F.S/°C(N2)
正常的工作溫度範圍 5°C to 65°C
輸入電壓 ±15VDC 350mA
類比輸入/輸出信號 0~5Vdc
連接器類型 15-pin D-sub
本體材料和封條類型 SS 316L & Viton ,Buna-N , Kalrez
漏率標準 1*10¯9 atm scc /sec He
管路接頭型式 1/4"VCR,1/4"SWG
　 1/4"VCO,3/8"SWG

流量範圍 3Sccm~30Slpm
最大的入口壓力 150psig(Max1500psig)
操作壓力正常範圍 5~50psid
控制範圍 50~1
準確選擇(類比) ±1.0% of F.S
線性 In Accuracy
重複性 ±0.25% of F.S
反應時間 Flow signal:<0.3sec
溫度系數 ±0.1% F.S/°C(N2)
正常的工作溫度範圍 5°C to 65°C
輸入電壓 ±15VDC 350mA
類比輸入/輸出信號 0~5Vdc
連接器類型 15-pin D-sub
本體材料和封條類型 SS 316L & Viton ,Buna-N , Kalrez
漏率標準 1*10¯9 atm scc /sec He
管路接頭型式 1/4"VCR,1/4"SWG
　 1/4"VCO,3/8"SWG