光浮区法单晶炉ECM

高温高压光学浮区炉

基于Mf3000氙灯的光学垂直浮带晶体生长系统

MF3000-1

Cyberstar MF3000是ECM Greentech提供的基于Xenom灯的高温光学垂直浮动区炉，可在高达3000°C的温度下生长石榴石单晶尺寸达Ø5mm，长度为30mm。加热能量是通过使用高效反射和聚光镜将光聚焦在加工棒的一小块区域上获得的。炉操作基于浮动区技术，使用一棒的生长材料，或种子和进料棒，以提供熔化的滴。这两种解决方案都是可能的，这要归功于炉内上下支架之间的独立垂直转换。上下棒的运动是完全同步使用赛博之星控制软件，这是包括在炉。它可用于获得晶体棒或晶体纤维，在高达10或100巴的压力下，使用相关的专用室。该炉的特殊设计使其成为实验室、大学和研发中心的理想选择。

技术规范

模型fz - t - 4000 h -八世(vpo)电脑

卤素灯的类型

灯镜数量:4片

灯:4盏

大气

压力

压力0.95 MPa

真空6.7×10-3 Pa (5×10-5 Torr)

密封轴与石英管采用o型圈密封

生长方法镜像舞台动作

Max。温度2200℃

正常使用温度1850℃

灯功率1200w (300W × 4个灯)

4,000W (1,000W x 4盏灯)

温差<30℃(沿晶体周长)

灯具冷却空气

镜面冷却空气

石英管密封部分进水

Max。生长长度150mm

上轴移动距离150mm

Max。进料杆长度200mm

镜台:缓慢移动0.01~300mm/hr

镜台:快速移动6~ 150mm /min

上轴慢动0.01~ 300mm /hr

上轴快速移动6~ 150mm /min

上/下轴转速5~ 100rpm

监控CCD摄像头和LCD

控制系统计算机LabVIEW / Windows 10(带远程控制功能)

手动Hand-Control-Box

输出电压稳定性:源电压+/-10%时，输出电压小于+/- 0.2%

大气气体流速

(流量计)

a. 5L/min Ar (*1)

b. 500cc/min O2

(* 1)

c. 10L/min带压缩机的空气

公用电力3相200V, 30A

水3 ~ 5 l / min

炉膛尺寸

主体700W×760D×1950H (mm)

控制箱605W×760D×1700H (mm)

备注:

1. 可选灯功率:150W / 500W / 750W

2. (*1)可改变其他类型的气体和流量。

3. 保修;

Crystal Systems Corporation保证自安装之日起一(1)年内有效，但以下情况除外

不正常使用。(1)灯(2)镜(3)石英管等玻璃器皿不在保修期内