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18寸晶圆紫外固化机
品牌:Powatec
型号:U-450
产地:瑞士
关键字:紫外固化机、紫外固化系统
POWATEC 固化系统专为框架最大为 450毫米的晶圆而设计。LED 产生的波长为 365 nm ,最大输出光功率为 800 mW。
打开盖子并将晶片插入玻璃窗格。盖上盖子。曝光将立即开始。固化在大约 10-60 秒后完成,产生50 至 180 个晶圆/小时的稳定吞吐量。完全可调的曝光剂量范围在 80 mJ/cm2 到 1000 mJ/cm2 之间。
主要特点:
· 采购成本低=总拥有成本 (COO) 最低!
· 没有产生有害臭氧
· 零预热时间
· UV - LED使用寿命长( 10,000小时以上)
· 低强度下降(10,000小时内下降 5%)
· 对薄膜没有热影响
· 紧凑而坚固的桌子设计
· 安装和实施时间短
· 维护成本低
· 符合IEC 204-1安全标准
· 生产率50-180晶圆/小时。
选项:
· 氮气淋浴
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