产地类别: 国产
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在半导体工业生产中,几乎各道工序都用到超纯气体,按其用途可分为保护气体,反应气 体以及运载气体。从气体种类又分为超纯大宗气和电子特气。超高纯大宗气体包括氮气,氢气,氧气,氩气,氦气和压缩空气等。主要用于半导体及光伏太阳能生产中作为载气、稀释气、冷却气、吹扫气、氧化气、燃烧气等。电子特气作为特种气体的一种,在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。
极微量的杂质就可能破坏半导体产品的结构,影响产品的强度、镀膜厚度、导电性、表面完好性及效率,同时也会对机台本身产生影响。
目前气体公司供应气体方式暂时无法提供更高纯度气体,普通气体纯度:4N~5N(99.99%~99.999%),需通过纯化到7N-9N(99.99999%~99.9999999%)才可以满足半导体精密制造、光伏器件需求环境。而这,是需要搭配一些纯化手段才能达到的结果。
华邦化学气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式,可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下,配备316L EP级吸附管,洁净施工,并且内置0.003微米316L颗粒过滤器;用心制造,用心服务。
华邦化学气体纯化器标准型号范围从2slpm到2000slpm各型号可选,可配各式接口,同时提供定制服务,满足各种环境下的产品使用方式。
管式POU纯化器:
应用范围最广POU纯化器,多为外延、氧化、扩散、CVD、MOCVD等半导体机台工艺设备提供超纯气体;
流量范围:2-2000slpm(2、10、30、50、120、200、300、600、1000、2000slpm)
华邦化学气体纯化器催化剂寿命测试方法:
每批通过100小时,1.5倍超高温运行性能衰减性能测试,确保20年运行性能不减。
华邦化学掌握HPC气体纯化器核心技术,自行开发生产的催化剂、吸附剂,並不断开发更高性能的催化剂。公司共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项,形成较为完善的自主知识产权体系。
高质量元器件、洁净装配、出场前测试;严格的质量管控、周到的质量跟踪服务;拥有西安、长沙两个大型纯化器长期运行测试基地,开发的每个系列的设备,均经过超过24,000小时测试。
我们有千万级的常备库存,能保证国内范围最快到货,持续稳定供应过硬品质产品,如有兴趣可随时联系我们。
产品货期: 3天
整机质保期: 1年
培训服务: 额外提供免费培训
安装调试时间: 到货后30天内
电话支持响应时间: 2小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 2天内
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