高温圆形磁控管设计用于 10-9mTorr 系列,经过专门设计,可允许在整个热循环过程中可能发生的变化,而不会出现泄漏或薄膜质量偏差。
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对于需要衬底长时间暴露在高热暴露下的应用,Angstrom Sciences 的高温圆形磁控管采用陶瓷绝缘体和真空密封进行了优化,使阴极能够在高温条件下保持性能参数。高温设计可在 200、300 和 450 摄氏度下运行。
描述
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 首次
免费仪器保养: 视情况而定
保内维修承诺: 非人为原因,免费维修并更换所需配件
报修承诺: 24小时内给出回应
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