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半导体洁净室检测新品—0.1微米粒子计数器3950-00
应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理
重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据
双通道: 0.1μm 0.3μm
额定流量:2.83umin
通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,
本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
半导体洁净室检测新品—0.1微米粒子计数器3950-00
品 名 | 尘埃粒子计数器 | |
型 号 | 3950 | |
粒子测量 | 测试方法 | 光散射法 |
粒径通道 | 2粒径(0.1、0.3μm) | |
额定流量 | 0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4) | |
测量时间 | 6秒~99分59秒(1次测量时间) | |
间隔时间 | 6秒~99分59秒(测量周期) | |
采样次数 | 1~999次 或 连续测试 | |
地点设定 | 99个地点 | |
测量方式 | 重复、单次、连续、计算、ISO , GB*(共6种模式) | |
测量数据显示时间 | 1~10秒 | |
测量数据显示 | 累计值∑ 差分值△及柱形图 | |
最大可测浓度 | 10,000,000个/m3 | |
计数效率 | 50±20%(相对于最小可测粒径附近的PSL粒子) | |
伪 计 数 | <1个/35min | |
粒径分辨率 | 15%以下(相对0.3μm的PSL粒子) | |
气 源 | 内置泵 | |
显示器 | 4.3英寸彩色液晶 触摸屏 | |
通迅功能 | 本 体 | USB(Host用于打印机、USB存储;Device用于与PC链接) |
数据存储 | 媒 体 | 内存 |
数量、格式 | 最大10,000个、CSV格式 | |
显示语言 | 英文、日语 | |
电 源 | AC100~240V | |
使用环境 | 本 体 | 15~35℃、0~85%RH (无结露) |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm | |
重 量 | 3.4kg |
半导体洁净室检测新品—0.1微米粒子计数器3950-00
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 无
免费仪器保养: 一年内免费校正一次
保内维修承诺: 保期内质量故障免费维修,非质保故障正常收费
报修承诺: 寄回检测并回复结果
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