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13.56MHz自动匹配器
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中国大陆
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产品性能
匹配器系统采用高速匹配算法,当接近匹配点时,这种高速匹配算法会逐渐的减缓系统的速度,即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点。匹配器可以很快的将输入阻抗调整为50Ω,调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。
应用对象
该自动匹配器主要应用对象包括:刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
产品货期: 7天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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品牌:赛默飞
型号:Trace1300 E