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常用型号
CANON 日本佳能 真空计 M-342DG
M-342DG-1D M-342DG-1N M-342DG-11 M-342DG-12 M-342DG-13 M-350PG-SD M-350PG-SP M-350PG-R S350PG-RS规(耐腐蚀型)M-351PG(真空计)M-361CP-SP设置带点型M-361CP-RSRRS485型M-370CG-SP设置带点型M-370CG-RS485型M-311-HG-RS311 SP带点型M-336MX-RS RS485型M-601GC(1Ch连接型)M-603GC(3Ch连接型)晶体量规M-320XG(真空计)宽范围电离真空计M-431HG宽范围电离真空计M-833HG(真空计)电离真空计M-723HG、M-823HG、M-923HG(真空计)热电偶真空计M-012DM微型量规MG-2、MG-2MG、MF)舒尔茨量规LG-11SB-A量规UGD-1S宽量程B-A量规BRG-1B裸离子量规NIG-2F/NIG-2TF量规PG-150热偶量规TG-550C M-342DG-11,M-342DG-12,M-342DG-13 M-341DG-01,M-350PG-SD,M-350PG-SP M-350PG-RS,M-351PG-SP,M-360CP-SP M-360CP-RS,M-311HG-SP,M-311HG-RS M-336MX-SP,M-336MX-RS,M-601GC,M-603GC M-320XG,M-431HG,M-833HG,M-723HG M-823HG,M-923HG,M-012DM,MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF M-320XG-N16,M-320XG-N25,M-320XG-C34 M-320XG-C70,M-320XG-VG70,M-390,390-03CR 390-05CR,390-10CR M-336MX-SP-N25,M-336MX-SP-C7
详细介绍
CANON 日本佳能 真空计 M-342DG
电容计“M-342DG”是在压力传感器部采用小型硅MEMS芯片,将温度、振动、气压
变动等外部环境的影响控制在最小限度,实现高精度稳定的压力测量、最小限度的零
点调整频率的隔膜真空计。
产品特性
CANON 日本佳能 真空计 M-342DG
高精度稳定的压力测量・优异的零点稳定性
温度依赖性低,在没有温度调整机构的情况下实现优异的稳定性
优异的耐振动噪声性能
小巧、低功耗・重量200g、尺寸W46mm×H49mm×L106mm、重量轻且紧凑(※1)
功耗0.5W
※1质量和尺寸为接头NW16规格时
产品用途
CANON 日本佳能 真空计 M-342DG
广泛支持真空中压力的高精度、长期稳定测量
半导体、显示器、太阳能电池等各种真空装置
·控制、监控溅射、PECVD等真空成膜工艺压力
·负载锁定室、晶片冷却等气体导入工艺、系统的压力管理
医疗、生物、食品等各种产业,以及各种研究开发用途
各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析装置、灭菌、真空泵评价、分
子蒸馏等
参数规格
型名 | M-342DG | ||||
---|---|---|---|---|---|
-1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
フルスケール圧力(Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
測定精度(% of reading) | 0.20(at 23 ℃) | ||||
ゼロ点温度係数(% of F.S./℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
スパン温度係数(% of reading/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
分解能(% of Full-scale) | 0.01 | 0.005 | |||
測定下限圧力(% of Full-scale) | 0.01 | ||||
実用測定下限圧力(% of Full-scale) | 0.05 | ||||
実用制御下限圧力(% of Full-scale) | 0.5 | ||||
応答速度(ms) | 100 | 30 | |||
加圧上限 | 200 kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと) *13.33 Pa仕様は130 kPa | ||||
電源電圧(VDC) | +13.5~26.4 | ||||
消費電力(W) | 0.5 | ||||
アナログ出力(VDC) | 0~10 | ||||
使用温度/保管温度(℃) | 0~50/-20~70(非動作時) | ||||
大ケーブル長(m) | 100(専用ケーブル) | ||||
ゼロ点調整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
接ガス部材質 | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
フランジ゙形状と質量 | NW16(200 g)、NW25(210 g)、8-VCR メス(250 g)、φ70ICF(460 g) | ||||
対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | ||||
安全保障貿易管理規制 | 非該当 | ||||
产品货期: 20天
整机质保期: 1年
培训服务: 额外提供免费培训
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