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KLA
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F60-C系列
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美洲
产地类别： 进口
看了白光干涉测厚仪的用户又看了
Filmetrics® F60-c系列能够像我们的F50产品一样对薄膜厚度和折射率进行测绘，但它还包括许多专门用于生产环境的功能。这其中包括自动寻找v-槽、自动基准校正、运动联锁装置的封闭式测量台、已安装软件的工业计算机, 以及晶盒及机械手臂自动传输。新款F60-c融合了Filmetrics 多点膜厚测量技术与KLA Instruments™ 产线自动化传片模组。
不同的F60-c仪器主要通过测量厚度和波长范围来区分。通常测量较薄的薄膜需要较短的波长（例如F60-c-UV），而较长的波长则适于测量较厚、较粗糙和更不透明的薄膜。
集成光谱仪/光源装置
6" 和 200mm 晶圆反射率标准
TS-SiO2-8-8000 厚度标准
真空泵
备用 LAMP-THF60 灯
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划
| 型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
|---|---|---|
| F60-c | 20nm-70µm | 380-1050nm |
| F60-c-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
| F60-c-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
| F60-c-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
| F60-c-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
| F60-c-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
| F60-c-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后7天内
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 2天内
KLA白光干涉测厚F60-C系列的工作原理介绍
白光干涉测厚F60-C系列的使用方法?
KLAF60-C系列多少钱一台?
白光干涉测厚F60-C系列可以检测什么？
白光干涉测厚F60-C系列使用的注意事项？
KLAF60-C系列的说明书有吗？
KLA白光干涉测厚F60-C系列的操作规程有吗？
KLA白光干涉测厚F60-C系列报价含票含运吗？
KLAF60-C系列有现货吗？
