€28万 - 50万
立陶宛WOP
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FEMTO LAB
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欧洲
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FemtoLAB 是一体化飞秒激光微加工研发平台母机。对于需要针对各种任务定制解决方案的科学实验室和研发中心来说，这是一个完美的选择。
FemtoLAB 激光工作站提供亚微米分辨率的复合超快激光微加工工艺，并且可以执行各种应用。
表面和内部体修改和纳米结构制造
飞秒激光烧蚀 (FSLA)
激光开槽划线
多光子聚合（MPP） | 直接激光写入 (DLW)
激光切割和钻孔
独特的是，该系统不仅兼容平面样品，还支持光纤加工
| Item | 特征 |
|---|---|
| 推荐材料 | 所有材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。 |
| 激光源 | 高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光器可选 |
| 光路选择 | 自动化切换光路 |
| 样品尺寸 | 兼容最大 160 mm x 160 mm 位移台设计 |
| 最小特征尺寸 | 200nm |
| 定位系统 | XYZ 三轴定位系统，定位精度 ± 300nm，具有连续晶圆级图案化功能 |
| 扫描系统 | 适用于所有激光波长的振镜系统 |
| 视觉 | 具有特征识别功能的实时可视化和定位摄像头 |
| 计量学 | 集成显微镜 |
| 样品处理 | 手动与自动对齐 |
| 持有者 | 用于扁平结构的样品架（基于真空抽吸），带有用于光纤的附加支架 |
| 排烟除尘系统 | 包括 |
| 配件 | 功率控制、偏振态控制 |
| 软件 | 通过单一 GUI 控制整个系统。 |
| 支持的文件格式 | – 2D/3D模型导入：STL、DXF、DWG、AMF、PLT、FAB |
| – 位图支持：BMP、GIF、JPG、JPEG、PNG | |
| – 作为表格数组的文本文件：TXT、RTF、TEX | |
| 软件 | 具有被动隔振功能的花岗岩底座，建立在光学平台上（可选独立设计） |
| 建造 | 水冷激光器、风冷系统、电气柜 |
| 尺寸，毫米 （长 x 宽 x 高） | 1500×1350×1400 |
| 重量 | 1100公斤 |
| 电源 | 2 个 220 伏交流电，16 安 |
References
Mazule; S. Liukaityte; V. Sabonis; T. Gertus; M. Mikutis, et al. “Characterization of the optical components fabricated by femtosecond pulses in transparent materials”, Proc. SPIE 8839, Dimensional Optical Metrology and Inspection for Practical Applications II, 883909 (September 6, 2013); doi:1117/12.2022823
Adomavičiūtė; T. Tamulevičius; L. Šimatonis; E. Fataraitė-Urbonienė; E. Stankevičius; S. Tamulevičius, “Microstructuring of electrospun mats employing femtosecond laser”, ISSN 1392–1320 Materials Science (Medžiagotyra), Vol. 21, No. 1. 2015; doi:http://dx.doi.org/10.5755/j01.ms.21.1.10249
Malinauskas; S. Rekštytė; L. Lukoševičius; S. Butkus; E. Balčiūnas; M. Pečiukaitytė; D. Baltriukienė; V. Bukelskienė; A. Butkevičius; P. Kucevičius; V. Rutkūnas; S. Juodkazis, “3D Microporous Scaffolds Manufactured via Combination of Fused Filament Fabrication and Direct Laser Writing Ablation” Micromachines 2014, 5, 839-858; doi:3390/mi5040839
Gertus; A. Michailovas; K. Michailovas and V. Petrauskienė “Laser beam shape converter using spatially variable waveplate made by nanogratings inscription in fused silica”, Proc. SPIE 9343, Laser Resonators, Microresonators, and Beam Control XVII, 93431S (March 3, 2015); doi:1117/12.2075869
Mačiulaitis; M. Deveikytė; S. Rekštytė; M. Bratchikov; A. Darinskas; A. Šimbelytė; G. Daunoras; A. Laurinavičienė; A. Laurinavičius, R. Gudas; M. Malinauskas; R. Mačiulaitis, “Preclinical study of SZ2080 material 3D microstructured scaffolds for cartilage tissue engineering made by femtosecond direct laser writing lithography”, Biofabrication, 2015 Mar 23; 7(1):015015; doi:1088/1758-5090/7/1/015015
Nava; R. Osellame; R. Ramponi; and K. Chaitanya Vishnubhatla; “Scaling of black silicon processing time by high repetition rate femtosecond lasers,” Opt. Mater. Express 3, 612-623 (2013). doi:1364/OME.3.000612
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整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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