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ESI prepFAST CARBON
超纯化学品在线稀释系统(半导体有机应用)
prepFAST CARBON可检测和识别半导体行业使用的超纯化学品中的有机污染物,测量范围可达到ppt。如果这些有机污染物未被发现,会对半导体的生产和性能产生负面影响。
监测和控制有机污染物的重要性
工艺化学品中的有机污染会导致硅片变化引起的无数问题,包括:
润湿性/疏水性的变化;晶片的非故意掺杂;栅极氧化物降解;晶片拓扑结构的变化;表面雾度;pH值变化
有机污染物分析仪
无机和有机化学品中目标有机污染物的定量分析
非靶向化合物的定性和半定量
适用于各类半导体级溶剂和化学品
ppt范围检测
超高质量分辨率TOF-MS和QTOF-MS探测器选项
高通量全自动化系统
准确测定和化合物鉴定
自动挖掘
自动校准
自动小瓶和瓶子开盖
易用性
条形码扫描
无需色谱分离
易于使用的软件,内置动态库选项
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 一年一次
免费仪器保养: 一年一次
保内维修承诺: 保内免费
报修承诺: 24小时内回复
Astation(吹扫捕集&顶空&固相微萃取)
美国原装进口二手安捷伦7683B安捷伦自动进样器
PAS 气相色谱多功能自动进样器 CONCEPT MIS
Acrichi AGS-36非甲烷总烃自动进样器
seaFAST 全自动海水预浓缩系统
Agilent 1290 Infinity III 生物 Multisampler 进样器
安捷伦科技(中国)有限公司
欧润离子色谱仪自动进样器ORAS-120
北京欧润科学仪器有限公司
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斯卡拉分析仪器(上海)有限公司
全自动气体进样器
山东三体仪器有限公司
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