prepFAST Carbon 超纯化学品在线稀释系统(半导体有机应用)
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ESI

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prepFAST Carbon

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美洲

  • 白金
  • 第21年
  • 授权经销商
  • 营业执照已审核
400-801-0263
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核心参数

ESI prepFAST CARBON

 超纯化学品在线稀释系统(半导体有机应用)

prepFAST CARBON可检测和识别半导体行业使用的超纯化学品中的有机污染物,测量范围可达到ppt。如果这些有机污染物未被发现,会对半导体的生产和性能产生负面影响。


监测和控制有机污染物的重要性

工艺化学品中的有机污染会导致硅片变化引起的无数问题,包括:

润湿性/疏水性的变化;晶片的非故意掺杂;栅极氧化物降解;晶片拓扑结构的变化;表面雾度;pH值变化


有机污染物分析仪

无机和有机化学品中目标有机污染物的定量分析

非靶向化合物的定性和半定量

适用于各类半导体级溶剂和化学品

ppt范围检测

超高质量分辨率TOF-MS和QTOF-MS探测器选项


高通量全自动化系统

准确测定和化合物鉴定

自动挖掘

自动校准

自动小瓶和瓶子开盖


易用性

条形码扫描

无需色谱分离

易于使用的软件,内置动态库选项


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售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 一年一次

免费仪器保养: 一年一次

保内维修承诺: 保内免费

报修承诺: 24小时内回复

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