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| SKRG系列MFC | ||
| 流量规格 | 10SCCM-1000SCCM 1SLM-1000SLM | |
| 控制阀类型 | 常闭 | |
| 关闭时流量 | ≤2% F.S. | |
| 流量控制范围 | 2-100% F.S. | |
| 流量精度 | ±1.0%S.P(≥30% F.S.) ±0.30%F.S.(<30% F.S.) | |
| 线性 | ≤±0.5% F.S. | |
| 重复性 | ≤±0.3% F.S. | |
| 零点漂移 | <0.6%F.S./年 | |
| 工作环境温度 | 10~45℃ | |
| 温度系数 | ≤±0.05%F.S./℃ | |
| 响应时间 | 1s(依据量程不同有所差异) | |
| 量程段 | 电磁式 | |
| 工作压差 | 10CC-10SLM | 0.05-0.35MPa |
| 20SLM-50SLM | 0.2-0.45MPa | |
| 100SLM-300SLM | 0.3-0.45MPa | |
| 400SLM-1000SLM | 0.35-0.5MPa | |
| 最大工作压力 | 0.6MPa | |
| 漏率 | 橡胶 :1x10-9Pa.m3/sec( He )金属:1x10-11Pa.m3/sec( He ) | |
| 通讯方式 | 数字: RS485/DeviceNET/EtherCAT/Profibus;模拟: 0-5V DC(4-20mA) | |
| 内部接触表面 | Ra0.4 | |
| 标准接头 | VCR: 1/4"、1/2" | |
| Swagelok: 1/4"、3/8"、1/2"、Φ6、Φ8 | ||
| IGS: 1.125in、1.5in (C-Seal、W-seal) | ||
SKRG一般镀膜系列
MFC系列旗舰产品采用了最新的温度补偿算法，参照SEMIE18-91标准进行了高低温测试，有效保障了较广温度范围的测控精度，减小了环境温度引起的测量控制偏差。高精度的设定点流量有效保障了全量程内MFC的流量精确测控，为先进工艺制程提供了有效保障。
采用了最新开发的“自适应 PID控制算法”。它可对所有设定点实现1秒以内的响应速度。自适应 PID 控制算法可根据不同的工况自行整定PID参数，实现客户对快速响应与低超调量的要求。
产品货期: 15天
整机质保期: 1年
培训服务: 暂无此项服务
电话支持响应时间: 2小时内
维修响应时间: 1天内
