原子力显微镜 Dimension Icon

仪器简介：

最新一代 Dimension系列 AFM

Dimension Icon 原子力显微镜(AFM）的性能、功能及附件等方面具有全新表现，在聚合物、半导体、能源、数据存储及材料领域的纳米研究中将会得到广泛应用。Dimension Icon是Dimension系列产品中的最新款设备,它基于世界上应用最广泛的AFM平台，集合了数十年的技术创新、行业内领先的应用定制及客户反馈等于一身。这个系统经过从上到下的设计，在易用性、高分辨率及快速成像等方面有突出表现。

技术参数：

X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um
Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um
垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625Hz）
X-Y定位噪音（闭环）：<0.15nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）
X-Y定位噪音（闭环）：<0.10nm RMS，典型成像带宽（达到625Hz）
Z传感器噪音水平（闭环）：<35pm RMS, 典型成像带宽（达到625Hz）
整体线性误差（X-Y-Z）：0.5% 典型值

样品尺寸/夹具：210mm真空吸盘样品台，直径210mm, 厚度15mm
电动定位样品台（X-Y轴）：180mm*180mm可视区域；单向2um重复性；双向3um重复性。
显微镜光学系统：五百万像素数字照相机
                                180um至1465um可视范围
                                数字缩放及自动对焦功能

控制器：NanoScope V型控制器
工作台：整合所有控制器、结合人体工学设计，提供直接的物理或可视借口
震动隔绝：整体式气动减震台
声音隔绝：可隔绝环境中85 dBC的持续噪音

主要特点：

结合Veeco最新的行业领先的针尖-扫描AFM技术，Icon的温度补偿定位传感器使Z轴的的噪音水平达到亚-埃米级，X-Y方向达埃米级。在大样品台、90微米扫描范围系统的仪器当中，这种表现是非常突出的，优于绝大部分的开环、高分辨率AFM系统的噪音水平。