产品类别: 温控探针台
操作类型: 全自动
可测圆片尺寸: 12"晶圆
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TS3000-HP 和 TS3500-HP 是 MPI 的两个新的专用探针台,用于在-60 ° C至 +300 ° C的宽温度范围和 3 kV(三轴)/10 kV(同轴电缆)和 600 A 测量范围,可以对薄晶圆或 Taiko 晶圆进行测试。
两个系统都包含 MPI 的 ShielDEnvironment™,用于超低噪声测量,TS3500-HP 是提高测试效率(最高 10 倍)和全自动晶圆处理(例如 150 mm SiC、200 mm GAN 以及 300 mm SiGe 晶圆)的理想选择。
1、测试效率显著提高
2、温度和测量范围较广
3、精确度较高
可以对薄晶圆或 Taiko 晶圆进行测试,用于超低噪声测量等。
产品货期: 180天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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