产品类别： 表面电阻率探针台
操作类型： 半自动
可测圆片尺寸： 12寸以下
为您推荐相似的探针台
本源量子无损探针台NDPT-100产品介绍
无损探针台是一款应用于超导量子芯片常温电参数精密测量的半自动化设备，最小测量范围至微米级。 该设 备最大的特点是可以在不影响量子比特性能的情况下，实现量子比特常温电参数的测量。该设备同样适用于半导 体行业的晶圆精密电参数测试。
无损探针台NDPT-100产品特点
高稳定性、高运动精度、多自由度可控的芯片吸附载台
显微镜倍率可变，测试最小区域达微米级
探针造成的薄膜伤痕直径最小在1μm以内
半自动化控制，人机交互便捷
无损探针台NDPT-100产品参数：
测量样品：12 寸及以下；真空吸附
XY 方向运动定位精度: 3μm
XY 方向重复定位精度：0.5μm
Z 向重复定位精度：1μm
Z 向分辨率：FULL/HALF STEP 0.5um/0.25μm
显微镜放大倍数：1.25X-15X，分辨率 11.18-1.68μm
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 保修期内共计一次免费培训
免费仪器保养: 保修期内免费保养1次
保内维修承诺: 免费调试校准
报修承诺: 72小时内到达现场进行调试
