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环竞试验
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FBPLC-6090
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中国大陆
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1)本设备由3 个独立真空室、温度控制系统、真空控制系统,PLC 控制系统及安全保护系统等组成。控制柜及工作三色灯设计与设备左侧,控制柜采用独立式可移动。
2) 箱内放置物料的托架采用导轨抽拉方式,并按照用户12 寸及8 寸两种规格的晶圆产品做好工装位。
3 温度控制系统:"富士"品牌数字显示控制器,真空控制系统:PLC 控制系统通过“威纶通”品牌触摸屏控制器和“三菱”品牌 PLC 实现设备烘干工艺流程编程。
安全保护系统:1)超温保护 2)过电流保护 3) 欠相保护 4)接地保护主要技术参数:
一. 结构
工作室尺寸: | 宽 500mm 深 450mm 高 250mm ;3 个腔体; | |
2 | 外形尺寸: | 约 800 宽×深 750×1770 高 仅供参考 |
3 | 保温层厚度: | 70mm; |
4 | 支撑脚; | 120mm 带滚轮 |
5 | 加热器位置: | 腔体外壁四周; |
6 | 抽气口位置: | 3 个腔体独立抽气口抽真空,分别由3 个气动阀+3个微调抽真空速率的针阀控制; |
8 | 开门方式: | 3 个自上往下开门。 |
9 | 控制箱位置: | 左侧;可移动式挂壁 |
10 | 硅橡胶耐高温密封圈; | 定制 |
11 | 3 套数字式压力传感器; | 触摸屏上集中显示 3 个腔体压力; |
12 | 报警器 | 声光报警 |
13 | 氮气阀 | 3 个电磁阀加 3 个调节泄压速率的针阀 |
14 | 加热原理 | 三个腔体独立加热 |
15 | 电源 | 380V50HZ7KW |
17 | 温度显示误差 | 设定值和稳定后表显值≤±1℃ |
18 | 保温性能 | 外壁温度不超过 45 度 |
二. 主要性能
1 | 工作温度范围: | 室温+10℃~100℃; |
2 | 仪表精度: | ±0.1℃; |
3 | 温度波动度: | ±1℃; |
4 | 升温时间: | ≤45 分钟(空箱,25℃~100℃); |
5 | 控温方式: | PID 调节; |
6 | 真空度: | ≤500Pa |
三. 保安装置
1 | 空气开关(防止过流和短路) |
2 | 过流保护(防止电流过高) |
3 | 超温保护(防止工作室温度过高,保护产品),超温报警,温度传感器每个腔体壹套。 |
四. 配件及材料
1 | 内胆材料: | 3mmSUS304 不锈钢板; |
2 | 外壳材料: | 1.5 mm,冷轧钢板,防锈处理后烤漆; |
3 | 保温材料: | 硅酸铝纤维; |
4 | 加热器: | 不锈钢加热管; |
5 | 温控仪: | 数显温控仪;“富士”品牌 |
7 | 开关: | 正泰; |
8 | 气动阀: | 真空阀 |
9 | 控制器: | 三菱带以太网通讯模块 |
10 | 彩色触摸屏 | 7 寸彩色触摸屏,台湾“维纶”品牌 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 详情见设备使用说明书
免费仪器保养: 详情见设备使用说明书
保内维修承诺: 详情见设备使用说明书
报修承诺: 详情见设备使用说明书
环竞试验干燥箱FBPLC-6090的工作原理介绍
干燥箱FBPLC-6090的使用方法?
环竞试验FBPLC-6090多少钱一台?
干燥箱FBPLC-6090可以检测什么?
干燥箱FBPLC-6090使用的注意事项?
环竞试验FBPLC-6090的说明书有吗?
环竞试验干燥箱FBPLC-6090的操作规程有吗?
环竞试验干燥箱FBPLC-6090报价含票含运吗?
环竞试验FBPLC-6090有现货吗?
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