产品类别: 表面电阻率探针台
操作类型: 手动
可测圆片尺寸: 4”、6”、8”、12”
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TLRH系列精密型基础测试探针台是我司根据高校科研及产业研发需要,而特定设计的一款高精密高稳定探针台,其较高的位移调节精度及优异的漏电精度控制,已成为包括场效应管在内的多端器件IV测试的理想之选。
.模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试;
. 最大可用于12寸以内样品测试;
.探针台整体位移精度高达3um,样品台精密四维调节;
. 兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试;
. 满足1um以上电极/PAD使用;
. 漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内);
. 探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计;
. 加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座;
. 配显微镜二维精密调节功能,且可选配多种行程及驱动方式。
多种精度,多种夹具类型探针座
同轴线缆,三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电磁屏蔽箱
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
用户单位 | 采购时间 |
---|---|
苏州大学 | 2022-04-05 |
产品货期: 7天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后2天内
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
谱量光电探针台TLRH系列的工作原理介绍
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谱量光电探针台TLRH系列报价含票含运吗?
谱量光电TLRH系列有现货吗?
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