光源频率： 双频
产地类别： 国产
测量范围（m）： 40米
线性测量精度（ppm）： ±0.3 ppm
线性分辨力（um）： 0.001um
稳频方式： 双频激光热稳频
稳频精度（ppm）： ±0.3 ppm
预热时间： ≤6分钟
专为光刻机配套开发的高精度测量系统；
通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器；
非线性高精密测量系统，测量更精准；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；
精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。
型号 | 频差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 稳频精度(ppm) |
LH1000A | 1.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.5±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.5±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.5±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
产品货期: 60天
整机质保期: 2年
培训服务: 安装调试现场免费培训
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 1天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 30天
核心零部支持时间: 2年
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
无理由退换货: 不支持
