仪器种类： 高温烘箱
产地类别： 国产
温度范围： 室温+50～360℃
温度波动： ±0.3℃（360℃）
外形尺寸： 1300×1320×1780mm
内胆尺寸： 660×600×660mm
内胆材质： 不锈钢板
加热方式： 氮气置换+强制送风循环
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· 洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
· 最高工作温度360℃和500℃。
· 采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
· 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
· 磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
· 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
· 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
· 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常安全装置、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安全功能。
产品货期: 90天
整机质保期: 1年
培训服务: 额外提供免费培训
