产地类别： 国产
靶材材质： 金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
控制方式： 自动
样品仓尺寸： φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
溅射气体： Air / Ar
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安全第一
高压线多重防护；外壳良好接地; 真空互锁; 系统 自动防护性切断溅射；实体按键，绝对安全
注重用户体验
5英寸液晶屏，简洁明了; 最多设置两个参数，即可开始工作； 系统自动调整真空度，无需人工调节针阀; 自动放气; 样品台高度可调节
信息量大
溅射过程中真空度和溅射电流以曲线方式实时显示，简单直观； 靶材使用时间，仪器使用时间系统自动记录，直观了解设备的运行状态
快速上手
设备内置操作向导，在操作人员更换时，无需培训，即可快速熟练操作设备
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
