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在制造LWIR/MWIR FPA成像传感器的半导体晶圆过程中需要用到晶圆测试机，MIRAD红外辐照器是晶圆测试机的一个组件。MIRAD是中/远红外辐射源，可调节光强并提供均匀的辐照来测试晶圆。
MIRAD辐照器的设计思路整合了三个模块(MTB中温的黑体，VAB光机辐射衰减器和三个TP透射管），三个模块组合一起，从而在管道出口几十毫米下的晶圆面接收到均匀、光强可调节的MWIR/LWIR辐照。
产品特性
• MIRAD的设计针对半导体行业进行了优化。与典型黑体相比，MTB黑体的热发射明显降低。对通过VAB衰减器的空气进行了过滤。TP透射管内的光学元件保护半导体晶圆不受来自MTB黑体高温发射端涂层掉落粒子的污染。
• MIRAD辐照器完全由电脑控制。MIRAD控制程序可以远程控制MTB黑体的温度和VAB可变衰减器的衰减。用户可以设置所需温度和衰减的单一值，也可以设置复杂的时域波形，当软件在指定的时间间隔后自动改变红外辐辐射度。软件还可以计算所需光谱波段的晶圆表面的辐照度。
参数 | 描述 |
总体参数 | |
TP3 管到被测sensor的距离 | 28 mm (可定制) |
晶圆表面的宽波段辐照度 | 至少8 mW/cm2 (详见测试报告) |
被测sensor面积 | 直径60mm |
建议测量区域大小 | 不超过直径 40mm |
辐照度不均匀性 | < ±百分之二 ，直径30 mm范围内 < ±百分之三 ，直径 50 mm范围内 < ±百分之五 ，直径 60 mm范围内 |
辐射波段 | 0.7μm 到 30 μm |
发射光谱 | 类似于所设置的黑体温度对应Planck光谱 |
黑体参数 | |
黑体温度范围 | 50°C 到550°C 建议 ≤ 500°C |
黑体辐射面积 | 直径 120 mm |
黑体辐射有效面积 | 直径 90 mm |
调整分辨率 | 10mK |
时间稳定性 | 不超过50 mK |
控制方式 | USB接口，PC控制 |
VAB 衰减器 | |
透过率范围 | 0 到 100 |
调制分辨率 | 不少于 0.1 |
洁净空气过滤器 | 有 |
控制方式 | USB接口，PC控制 |
TP1/TP2/TP3 管 | |
尺寸 | IP750 成像测试机定制尺寸 |
设计 | 管内有挡板，集成光学镜片和整形部件 |
透过率 | 1 μm 到30 μm范围内均匀透过 |
其他参数 | |
工作温度 | +5oC到 35oC |
储存温度 | -5oC到 55oC |
工作湿度 | 不超过百分之七十五 |
储存湿度 | 不超过百分之五十 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 按照合同履行
免费仪器保养: 无
保内维修承诺: 免费维修
报修承诺: 8小时内响应
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