• 这是一种可直接连接控制装置的细长、封闭、两相方波光栅尺。
• 光栅尺报警显示功能易于维护。
• 适于您应用的多种规格。
• 适用于控制半导体制造系统和NC机床。
型号 | AT211 |
有效测量范围* | 100- 1500mm (20 型号) |
精度(20°O* | (3+3Lo/1OOO)卩m Lo:有效测量范围(mm) |
(2+2Lo/1OOO)pm (Lo^5OOmm) | |
输出波形 | 90唯位差二相方波信号 |
最大峋应速度* | 5.4 - 120m/min （B分辨力及边缘距离而异） |
分辨力 | 0.1/0.2/0.5/1.0/2.5/5.0pm |
栅尺原点* | 50mm间距/中央一点佐边一点佑边一点 |
尘/水防护等级 | 达到IP53防护等级 |
工作温度 | 0-45°C |
