大连力迪流体控制技术有限公司代理瑞士Levitronix 磁悬浮无轴承泵，近30年进口工业品经验,常备大量现货库存,支持选型，在中国设有：上海，北京，广州，南京，成都，沈阳，长春办事处，可为您提供维修服务。售后服务工程师，可及时到现场给客户提供安装调试指导服务。

Levitronix® BPS微电子湿制程应用 超洁净无轴承泵

Levitronix® BPS泵设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮，泵叶轮被电机磁场悬浮并驱动。叶轮与泵壳之间大的间隙确保运运行中没有机械接触，因此，不存在泵磨损，不会产生轴承磨损或密封件损坏。
叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。通过电子调节叶轮转速进而精确控制流体流量和压力。

Levitronix® BPS泵在微电子湿法应用中具有独特的优势，将为您提高产品质量与产量。

Levitronix® BPS 产品型号有BPS-i30, BPS-i30HP，BPS-i30HF，BPS-i100，BPS-200，BPS-300，BPS-600，BPS-i600，BPS-2000HP，BPS-2000HF，BPS-4000。BPS-i30 max流速为7.4L/min, max 压差为1.5bar，max 液体温度为70℃。BPS-4000 max流速为280l/min，max压差为6.3bar。可根据具体应用需求进行泵选择。

Levitronix®BPS 抗静电系列采用不锈钢或含碳纤维的PTFE浸湿材料。泵型号有：BPS-200AS, BPS-600AS（抗静电）, BPS-2000AS（抗静电高流量），BPS-600ST（不锈钢），BPS-2000ST（不锈钢高压）。

Levitronix®BPS 高温泵采用PTFE浸湿材料，适合高温液体，型号BPS-4HT，max液体温度为220℃。BPS 首代无轴泵浸湿材料采用PFA，PTFE，型号有BPS-1，BPS-3，BPS-4。

Levitronix BPS 无轴承磁悬浮微电子用泵的特点：

w   最洁净的泵，叶轮和泵头壳体间无机械耦合装置，因此泵无磨损，几乎无碎屑颗粒产生，确保液体的纯度。

w   低的金属污染量，显著低于气动泵，泵的液体接触表面积比同等功率的气动泵小几倍。

w   低剪切力设计，适合浆料和电镀液，由于没有机械轴承，窄的缝隙及死区间等，加之光滑湿润的表明，可以对敏感液体进行温和输送和过程处理。

w   无脉动，开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵原理和无阀门设计形成无脉动的流量。

w   宽流量范围和高可控性，可以实现宽流量范围内的准确流量和压力控制

w   高可靠性，无轴承磨损和无密封损坏，使用寿命长和维护成本低。

w   高调低比，从几ml /min到大流速都可以保持平稳。

w   尺寸比气动泵小，由于泵和电机的高度集成，以及无轴承设计，占用空间小并可以安装在密闭空间中。

w   高性能的数据采集，适合系统集成，可用于智能制造系统。

w   低噪音和低震动，叶轮和泵壳的磁性联轴器几乎不会产生振动，操作噪音低。

w   集成流量传感器，将流量传感器集成到泵系统中，创建反馈回路，便于自动化控制。

随着微型化和复杂性的不断提高，微电子行业应用的工艺要求越来越严格。半导体制造、光伏或LED等领域不同工艺需要大量不同的介质。关键工艺过程中介质/液体的纯度、安全和可靠交付至关重要。Levitronix在微电子行业有20多年经验，提供超洁净的泵系统、混合泵和流量传感器，可用于微电子的半导体生产中，例如大量化学物质的输送，光化学处理，湿法蚀刻，清洗，金属镀层，CMP 浆液输送等，以及圆晶清洁以及半导体的金属镀层等。Levitronix无轴承泵因为无机械轴承几乎不会产生颗粒，已成为半导体领域超纯液体应用的行业标准。