看了气体净化器的用户又看了
适用领域：
1)半导体制造工程发生的有害Gas等安全处理的吸附式 Gas 处理装置
2）适用：半导体 Dry Etch，Diffusion，Ion Implantation，Cleaning Gas，BPSG， Oxide，MOCVD,ETC
特长及特点:
a.吸附式更换费用低廉—吸附剂直接开发
b.Gas 处理效率高—高效的吸附能力
c.By—Pass Canister 设置—有害Gas正常设置
d.Canister 内部温度监控—内部加热反应监控
e.有效力的压力管理—Inlet 压力 Warning， Alarm，Interlock 装置
f.Compactly Design—安装空间占用小面积
g.System 简易化—售后服务容易化
化学吸附剂介绍：
适用：半导体 Dry Etch，Diffusion，Ion Implantation，Cleaning Gas，BPSG， Oxide，MOCVD,ETC
更多详情请致电联系：（莫先生）
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 2人技术培训
免费仪器保养: 6月一次
保内维修承诺: 整机保固一年，保修期内免费维护及更换易损件
报修承诺: 提供7x24小时 on calL服务
