该系列产品包含堆叠式XYZ Stage、堆叠式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage）、堆叠式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage）
| 类别 | 描述 |
堆叠式XYZ Stage | 平台特性
平台概要 堆叠式XYZ 系统，采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZ-10Stage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上，能实现X、Y 和Z轴3 自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，MZ-10 Stage 标准模组采用了大行程磁浮重力补偿技术，具有降低垂向电机的载荷，极大地提高了垂向运动性能和寿命的功能。可实现高精度上下方向定位的升降。十字平台Cross XY Stage模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。 |
堆叠式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage） | 平台特性
平台概要 堆叠式XYZ 台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念，将MZT-24-CRGStage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上，能实现X、Y 和Z轴3 自由度的高精度、高刚度直线运动。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋转运动平台和垂向运动创新性的在轴向进行耦合的设计思想，具有紧凑扁平的轮廓尺寸，能实现Rz/Z 轴2 自由度的高精度、高刚度运动无限制旋转。十字平台Cross XY Stage 模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。 |
堆叠式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage） | 平台特性
垂向磁悬浮重力补偿，可实现极高定位精度
平台概要 堆叠式XYZ3T 台采用模块化、超薄设计、正交性设计等的理念，将MZ3T标准模组集成在XYY 堆叠式水平运动模组之上，能实现X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 轴6 自由度的高精度、高刚度运动。其中MZ3T 标准模组采用紧凑设计技术，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 轴，具有拥有优异的定位精度、平面度、直线度、刚性和重复性精度的功能。垂向采用了独有的磁浮重力补偿技术，降低了垂向音圈电机的载荷，极大地提高了垂向运动性能和寿命。XYY 堆叠式水平运动模组采用集成式、正交性设计理念，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等，以及晶圆划线和晶圆激光退火等。特别适用于特定大型面板/基体上的倒晶封装。 |
保修期: 按原厂标准执行
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 按原厂标准执行
免费仪器保养: 按原厂标准执行
保内维修承诺: 按原厂标准执行
报修承诺: 2小时响应，维修按原厂标准执行
