光学/全激光测振仪/可选1000倍变焦数字显微镜/基于激光GHz声波振动观测系统MLD-101系列
光学/全激光测振仪/可选1000倍变焦数字显微镜/基于激光GHz声波振动观测系统MLD-101系列

¥1万 - 5万

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筱晓光子

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MLD-101

--

亚洲

  • 金牌
  • 第11年
  • 生产商
  • 营业执照已审核
核心参数
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一, 光学/全激光测振仪 可选1000倍变焦数字显微镜


全激光测振仪,超紧凑型封装,三轴控制,实现高精确度;

可选数字显微镜,1000倍变焦,非常适合实验室和生产应用;

宽频范围 DC-/.5MHz


光学测振仪/激光测振仪/全激光测振仪,光学测振仪/激光测振仪/全激光测振仪

产品应用

声学表征 / 纳米分辨率

MEMS/PMUT 设备测试和规格合约性


2002.png



2001.jpg



技术参数

全激光测振仪,超紧凑型封装,三轴控制,实现高精确度;

可选数字显微镜,1000倍变焦,非常适合实验室和生产应用;

宽频范围 DC-/.5MHz

2003.png


规格参数

MV-H-D 测试

激光测振仪

最大频率

2.5MHk

速度(满刻度)

4.5m/s

频率准确度

< 0.1%

典型振幅分辨率

0.2nm

时间触发器

触发线 进/出

尺寸

暂无

重量

操作温度

0-50℃

防护等级

IPG5

电源供应

+12V

工作激光波长

1310nm

工作激光等级

等级 1, < 5mW

可见光激光波长

G50nm

可见光激光等级

等级 2, < 1mW

测距

50mm

数据连接

以太网

数字显微镜:

放大范围

 

50-250X



二, 基于激光的GHz声波振动观测系统   MLD-101系列




基于激光的观测系统,专门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave(SAW)和体声波 Bulk Acoustic Wave(BAW),如SAW滤波器(Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT)和薄膜体声波谐振器(FBAR)

基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列,基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列

产品特点

适用于不同频率下物理声波传播的分析

短时间广域观测



img_51.png


通用参数

图像 FFT & IFFT 处理

img_52.png

观察示例


IDT

360截图20230519111252785.jpg


FBAR

360截图20230519111303513.jpg


参数

振动检测方法

基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz)

振动观察法

用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动)

观测光源

二极管激光器(波长:650nm典型),照明LED

可用物镜

×20、×50、×100 物镜

 可观察到的频率

500MHz ~ 6GHz (Typ.)

驱动信号输入范围*1

500MHz~6GHz  (-120dBM~+15dBM) *2

Max. 可分析区域

25mm × 25mm

容许工作量

Max. 8英寸晶圆片

样品台

电动X-Y型载物台

主要软件功能

基于采样阶段控制的预设区域扫描观测

2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie)

二维FFT⇔FFT图象处理

基于FFT结果的特定振动共振模式滤波

面外轴倾角校正

基于预设频率表的连续数据采集

构造

主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/级驱动器/ PC /软件

*1 提供高频探测装置。(手动探测)

*2 提供输入信号放大器。


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 我司实验室可进行培训

免费仪器保养: 1年内

保内维修承诺: 免费更换零件 调试等

报修承诺: 约定时间内进行维修调试

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