磁控多弧镀膜机

磁控多弧镀膜机

. 产品简介
    磁控多弧镀膜机是门为液相（别是sol-gel法）制备薄膜材料的研究工作而，对不同液体通过浸渍提拉生长薄膜。提拉速度、提拉度、浸渍时间、镀膜次数（多次多层镀膜）、镀膜间隔时间均连续可调、控制。对镀膜基质无殊要求，片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动，可大提实验精度与实验效率。
    适用于硅片、玻璃、陶瓷、金属等固体材料表面涂覆。应用于研究、产品。

二. 产品点
1. 采用自主的的传动装置；
2. 关键零部件来自中台湾及德口，确保运行精度及稳定性；
3. 多参数全自动控制；提拉速度连续可调；
4. 镀膜过程采用4.3寸液晶触摸屏使控制更方便；恒温场温度LCD液晶显示可编程控温，。
5. 运行时，各项参数实时显示，更直观了解镀膜程；
6. 、低速均运行平稳，镀膜时液面无振动，使成膜更均匀；
7. 整个镀膜过程在恒温温度场内行，可控温，温度均匀性好。
8. 殊的平口型夹具，两面均匀夹持样片，不会夹坏样片；（单点螺丝紧样片的夹持方式容易夹坏样片）

三. 参数
1. 提拉速度范围：1～5000 μm/s，小分辨率1μm/s；
2. 适用基片尺寸：MIN 5×5 mm，MAX 100×100 mm，厚度MAX 10mm；
3. 浸渍时间：1～1200 s，小分辨率1s；
4. 镀膜次数：1～20次，少1次；
5. 每次镀膜间隔时间：1～3600 s，小分辨率1s；
6. 恒温温度：RT+10～200℃,温度分辨率0.1℃；
7. 温度波动度≤±0.2℃；
8. 恒温场内尺寸：340×320×320 mm（W×D×H）；
9. 电源：220V/50Hz