Sawatec旋涂仪/匀胶机SM-150

旋涂仪/匀胶机 SM-150是手动或半自动薄膜涂覆的zui佳选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸zui大为150mm(6”)127x127mm(5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足 大直径为176mm。

SM系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力 zui小化，SAWATEC公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本zui小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。

功能（基本配置）

• 可编程， 多50个程序(各包含24个程序段)

• 适用于重复工艺的快速启动功能

• 触摸屏面板控制，方便用户程序配置

• 工艺参数：转速、加速度、工艺时间旋转方向可选(顺时针、逆时针)

• 手动装卸基板

• 通过具有安全保护的真空系统进行基板固定

• 手动盖子带有空气入口和闭合安全保护

• 工艺结束时的声音信号

性能数据

• 转速范围：0到10,000rpm +/-1rpm

• 转速加速度：0–8,000rpm为0.8秒/0–10,000rpm为1秒 (备注1）

• 减速度：10,000rpm-0为2.5秒/8,000rpm-0为0.8秒 （备注1）

• 工艺时间zui长为2376 s

• 每个程序段的给胶时间为 99 s

备注1：取决于基板尺寸和旋转卡盘的型号

附加功能（可选项）

• 半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管

• 工艺腔的手动氮气净化装置

• 用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度1.8m)

• 经阳极电镀处理的铝制工艺腔

• 铝制或PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗

• 用于SM-150匀胶机的真空泵

• 晶圆定位器2”–6”(圆形)

旋转卡盘分类

为了达成完美涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同，可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏，有时不仅要选择 佳的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单，不需要使用工具。

• 真空卡盘小片

• 真空卡盘1” 3”(圆形)

• 真空卡盘100mm(4”) 150mm(6”)

• 真空卡盘100x100mm(4”x4”)

• 真空卡盘125x125mm(5”x5”)

• 其他卡盘需咨询

设计和尺寸

1. 桌上式版本 SM -150-BT，

2. 内嵌式版本 SM-150-BM

• 紧凑且节省空间的结构形式

• POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性

• POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。

• 透明盖板：玻璃制成

• 具有3.5”彩色显示屏的触摸屏面板

• 高精度，高动态的交流伺服电机

1. 桌上式版本 SM -150-BT

• 经电解抛光处理的不锈钢外壳

• 外壳(BT):350x510x403mm(长*宽*高）

• 重量(BT):约29kg

2. 内嵌式版本 SM-150-BM

• 安装模块(BM):300x300x368mm(长x宽x

• 安装面板320 x 166 x50mm(长x宽x

• 重量(BM):约20kg

接口

• 230 VAC50/60Hz10A

• 脚踏开关用插头接口

• 技术真空，软管?6/4mm(-0.8bar)

• 压缩空气或氮气软管?6/4mm(3bar) (仅xian于给胶系统配合使用)

• 排放接口?12mm

• BT废气接口?38mm(20–50m3/h)

• BM废气接口?25mm(20–50m3/h)