产地类别： 国产
靶材材质： 金，铂
靶材尺寸： 直径：50mm，厚度：0.1mm
控制方式： 自动
样品仓尺寸： 直径：160mm，高：120mm
样品台尺寸： L360mm*W300mm*H380mm
溅射气体： 惰性气体
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KLY-900型离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备，非导体材料实验电极制作。
特点：
1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表，用以指示、监控仪器状态；
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体，获得最佳镀膜效果；
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象；
4. 根据电场中气体电离特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
型号 | KLY-900 |
主机规格 | L360mm*W300mm*H380mm
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靶（上部电极） | 金：直径：50mm，厚度：0.1mm |
真空样品室 | 直径：160mm，高：120mm |
溅射面积 | Ф50mm |
真空指示表 | 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar |
离子电流表 | 最大电流：50mA(100mA) |
定时器 | 最长时间：3600S |
微型真空气阀 | 可连接φ3mm软管 |
可通入气体 | 多种 |
最高电压 | -1600 DCV |
机械泵 | 2L/S |
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 1次技术培训
免费仪器保养: 3个月1次
保内维修承诺: 有偿更换零部件
报修承诺: 24小时到达现场开始维护
