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RT150U这款同类最佳的超精密旋转平台具有超低误差运动（低于20 nm）和世界一流的运动性能。无与伦比的设计融合了无与伦比的精度和准确性。如惯性导航、圆度测量系统、微观和纳米层析成像、超精密制造、半导体行业、医疗和研究设备等。
应用领域：
• 计算机断层扫描
• X-射线
• 超精密加工
• 激光加工
• 光学检查
• 半导体应用
• 医疗行业的测试系统
• 用于尺寸测量系统的运动轴
• 惯性导航
• 精密重力测量
产品规格
| Rotary Stage RT150U | |
| Max. axial load 最大轴负载 | 726 N |
| Max. radial load 最大侧向负载 | 264 N |
| Axial stiffness 轴刚性 | 242 N/μm |
| Radial stiffness 侧向刚性 | 88 N/μm |
| Tilt stiffness 摇摆刚性 | 204 Nm/mrad |
| Radial error motion 端跳误差 | < 20 nm LSC |
| Axial error motion 轴误差 | < 20 nm LSC |
| Resolution分辨率 | <0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×） |
| Repeatability重复精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
| Air consumption 耗气量 | < 20 Nl/min |
| Total mass 重量 | 15,2 kg |
| Encoder 编码器 | 23600 periods |
| Nominal torque 标称扭矩 | 0,5 Nm |
| Peak torque 峰值扭矩 | 1,5 Nm |
| Max. speed 最大速度 | 200 rpm |
| Angular accuracy 角精度 | 6,9 arcsec |
| Material 材料 | stainless steel |
运动控制
该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环，自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外，图形用户界面将设置时间降至最低。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 1人
免费仪器保养: 1年
保内维修承诺: 免费维修更换零部件
报修承诺: 24小时到达用户现场
