仪器种类: 通用型
产地类别: 进口
容积: 5L
超声频率: 40KHZ
超声功率: 100W
功率是否可调: 是
温度是否可调: 是
时间是否可调: 是
降音盖: 有
进排水: 自动
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美国ibss公司由Vince Carlino成立于2002年,该公司持续致力于等离子清洗设备的开发,特别是针对电子束等易产生积碳应用场景下等离子清洗设备的开发,其专利的DownStream技术能够保证等离子体中不含电荷或离子态的物质存在,从而可以最大程度降低等离子体对样品表面的损伤,同时能够保证线性清洗效果,从而满足定量去除制样的需求。
该公司产品全球销售总量超过1000台,中国地区知名用户如:北京大学、上海光源、SMIC、YMTC/XMC、TSMC、Infineon等。
技术优势:
1、采用专利DownStream设计,等离子体中不含任何电荷及离子态物质,防止对样品表面的溅射损伤;
2、ICP诱导激发等离子体,等离子体量大,且作用范围广;
3、可同时清洗3根透射电镜样品杆,支持ThermoFisher/JEOL/Hitachi全系列样品杆;
4、采用Qwk-Switch快接口设计,等离子发生器可以直接接入其他真空腔体进行在线清洗,一机多用;
5、清洗功率范围:10W-99W,样品清洗舱大小:7英寸(φ) X 7英寸(H);
6、可直接利用O2或Ar清洗碳膜;
7、配备真空探测系统,可设定真空范围自动进行清洗;
8、清洗速率:1.5nm/min@30W, 清洗去除为线性模式,可定量化去除污染 。
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费1次
免费仪器保养: 2年内免费一次
保内维修承诺: 非人为因素,免费维修主机。
报修承诺: 工作日24小时内反馈
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