皮秒紫外超精细加工系统
皮秒紫外超精细加工系统

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中国大陆

核心参数

1.     采用进口高功率高稳定紫外皮秒激光器直接烧蚀气化材料,无热影响区,最小4μm加工光斑,亚微米级粗糙度和直线度。

2.     通过精密振镜高速高精度控制光束偏移,实现小幅面高速精细加工,加工精度优于±3μm,局部尺寸精度优于2μm。

3.     通过高精度直线电机驱动平台平移实现大幅面精密加工,重复精度高达±1μm。

4.     Z轴电动可调,以适应不同厚度材料,满足立体结构精细加工要求。

5.     旁轴高分辨率工业网口相机用于振镜全幅面误差校正,保证系统长期使用稳定性和精度;同时,用于高精度对焦,刻蚀深度测量以及加工尺寸测量。

6.     支持工件高精度定位加工,自带偏移补偿功能。

7.     系统采用大理石台面,提升系统的综合稳定性,所有机械部件精心选配以保证长期精度。

8.     可用于加工玻璃、有机物、金属、陶瓷等基本所有固体材料,实现蚀刻、盲孔、通孔、开槽、切割等。

9.     最小加工线宽5μm,加工范围300*300mm可定制。

应用范围:

生物芯片制备、半导体柔性电路板切割、ITO膜层蚀刻、微电子器件制造、印刷模板制备、精密微型模具成型


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 按实际双方签定合同而定

免费仪器保养: 按实际双方签定合同而定

保内维修承诺: 按实际双方签定合同而定

报修承诺: 按实际双方签定合同而定

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