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使用范围：
对半导体制造装置发热部的冷却：
单晶片洗净转载、印刷机、自动夹座安装装置、喷涂装置、离子镀装置、蚀刻装置、单晶片处理装置、切片机、包装机、显影剂的温度管理、露光装置、生磁部分的加热装置等。
对激光装置发热部分的冷却：
激光加工、熔接机的发热部分、激光标志装置、发生装置、二氧化碳激光加工机等。
其他产业用机器发热部分的冷却：
等离子熔接、自动包装机、模具冷却、洗净机械、镀金槽、精密研磨机、射出成型机、树脂成型机的成型部分等。
分析检测机器的发热部分的冷却：
电子显微镜的光源、ICP发光分光分析装置的光源部分、分光光度计的发热部分、X线解析装置的热源、自动脉冲调幅器的发热部分原子吸光光度计的光源等。
产品概述
l节省水资源，可以使用水兑乙二醇混合液进行循环制冷，节约资源；严密的循环管路设计，防止循环水污染，延长循环水的使用时间；
l高性能循环泵，可保证每天连续24小时运行；
lPID温控技术，内置PT100传感器航空插件，保证了温度控制的准确性；
l成熟的无氟制冷技术；
l具有自我诊断功能；冷冻机过载保护；高压压力开关，过载继电器、热保护装置等多种保障功能；
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 有
免费培训: 免费培训
免费仪器保养: 如客户需要
保内维修承诺: 免费维修更换配件
报修承诺: 省内24小时，省外48小时
