技术参数：
表1、硬件性能
项目\型号 S49-32B/MT S49-32BA/MT
1 流量范围 0~5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM
0~1，2，3，5，10SLM
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止状态 常闭
4 准确度 ±1%F.S(10SCCM~10SLM规格，其余规格≤±2% F.S)
5 线性 ±0.5~1.5%F.S
6 重复精度 ±0.2%F.S
7 响应时间 6~8Sec
8 工作压差范围 0.05~0.4MPa; 0.1~0.4MPa（10SLM)
9 耐压 3MPa; 10MPa
10 工作环境温度 5~45℃
11 材料 不锈钢316L
12 标准密封材料 Viton®， EPDM， 或其他由用户指定
13 漏率 ＜2×10-9mbar.l/s He
14 接头 Φ6mm, Φ1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户指定
15 输入输出信号 0~+5.00V（输入阻抗≥100KΩ，负载输出电流能力≤ 3A）
16 供电电源 ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17 外形尺寸（mm） 130（宽）×102（高）×28（厚）
18 重量（kg） 0.8
主要特点：
一、产品主要特点:
本产品可自动测控气体质量流量。不受温度和压力的限制，准确度高、重复性好标准电信号输入输出，可测控瞬间和累计流量。适用于各种介质，可替代同类进口产品，除此以外，还具有以下特点：
1、采用国际上最先进的拉伸切割技术，生产专用传感器管与特有传感器技术。
2、可以和国内外同类主流产品完全兼容。
3、可以采用完全数字化测控，方便快捷降低成本。
4、多种先进的显示装置与之配套。
5、自己的知识产权与优良的性能价格比。产品广泛 用于真空、镀膜、半导体、光纤、石化、热处理、特种材料、制气、医疗、分析仪器等行业和相关科研院所。用户遍布国内外。
