仪器种类: 实验室
产地类别: 国产
适用领域: 高纯气体分析专用
控制温度范围: 0-400
升温速度: 0-40
冷却速度: 350-50
载气流量范围及控制: 0-800
载气压力范围及控制: 0-500
进样口最高使用温度: 400
进样口压力设定范围: 0-500
进样口总流量设定范围: 0-800
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四氯硅烷分析氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用华爱公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市成果转化A级项目。
硅(SiHCl3)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
二氯硅烷(SiH2Cl2)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量(体积分数)/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
金属元素及其他元素含量 | (硼+铝)(B+Al)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.1 |
(磷+砷)(P+As)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.3 | |
镓(Ga)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
锑(Sb)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
铟(In)含量/(μg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
钙(Ca)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
铬(Cr)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
铁(Fe)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钾(K)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钠(Na)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
镍(Ni)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钼(Mo)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
锰(Mn) 含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
铜(Cu)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
镉(Cd) 含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钴(Co)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
锌(Zn)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
钒(V)含量/(μg/kg) ≤ | 1 | 0.5 |
产品货期: 30天
整机质保期: 1月
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 2小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 3天内
节假日是否提供上门服务: 是
核心零部件货期: 7天
核心零部支持时间: 10年
是否支持上门巡检: 是
是否提供预防性维护计划: 是
是否提供期间核查方案: 是
是否提供免费应用支持: 是
是否提供付费应用支持: 是
是否提供线上售后平台: 是
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 维修手册
无理由退换货: 不支持
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