微纳器件光谱响应度测试系统

光源

选配光源

1、半导体激光器

波长：405nm，532nm，633nm，808nm，980nm可选

不稳定性：＜1%

2、皮秒脉冲激光器

波长：375nm，405nm，488nm，785nm，976nm可选

脉宽：100ps

频率：1-20M Hz

3、氙灯光源

光谱范围：250nm-1800nm

不稳定性：＜1%

4、超连续白光激光光源

光谱范围：400-2400nm

频率：0.01MHz-200MHz

脉宽：100ps

光谱仪

焦距：300mm；

相对孔径：f/3.9；

光学结构：C-T；

光谱仪分辨率：0.1nm；

倒线色散：2.7nm；

波长准确度：±0.2nm

波长重复性：±0.1nm

扫描步距：0.005nm

狭缝规格：圆孔抽拉式固定狭缝，孔径：0.2mm,0.5mm,1mm,1.5mm,2mm,2.5mm,3mm；

三光栅塔台；

光栅配置：1-120-300、1-060-500、1-030-1250，光栅尺寸：68×68mm

6档自动滤光片轮，光谱范围200-2000nm；

内置电动机械快门，软件控制快门开关；

杂散光抑制比：10^-5

探针台配置

4个探针座，配20/10微米针尖探针

2米三同轴电缆，漏电流小于1pA。

真空吸附样品台。

探针座：ＸＹＺ方向12ｍｍ调节行程，0.75uｍ调节分辨率，

0-30°调节探针角度。

LBIC Maapping

XY方向行程50mm，分辨率5um。

数釆

v 锁相放大器

斩波频率：20Hz~1KHz；

频率6位显示，2.4英寸屏，320×240液晶显示；

电压输入模式：单端输入或差分输入；

电压、电流两种输入模式； 

满量程灵敏度：1nV至1V；

电流输入增益：10⁶或10⁸V/A；

动态储备：＞100dB；

时间常数范围：10μs至3ks；

v keithley2612B

量程：100nA/1A

最小信号：1nA

本地噪音：100pa

分辨率：100fa

通道数：2

v keithley2636B

量程：1nA/1A

最小信号：10pA

本地噪音：1pa

分辨率：10fa

通道数：2

制冷样品台

温度范围：-196℃-600℃，（-196℃需要选择专用冷却系统）

全程温度精度/温度性：0.1℃/＜0.01℃

光孔直径：2.4mm

样品区域面积：直径22mm

两个样品探针，1个LEMO接头（可增加至1探针）

工作距离：4.5-12.5mm

气密样品腔室，可充入保护性气体

独立温度控制

响应速率测试

示波器型号：MDO32

模拟带宽100MHz

采样率5GS/s

记录长度10M

时间范围：uS-S，需要配合调制激光器使用

时间范围：10nS-S,需要配合皮秒脉冲激光器使用