WSMS - 晶圆表面测量系统
WSMS - 晶圆表面测量系统

¥10万 - 30万

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PVA Tepla

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WSMS

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欧洲

核心参数

Munich Metrology提供了最先进的,完全整合的VPD测量系统。该WSMS包括前缘的VPD,气相分解,最先进,精密的化学品输送系统,自动提供所需的所有集成的ICP-MS分析的校准的化学品VPD和所有的化学物质样品采集系统系统。它是一台用计算机控制的系统,接受远程命令,并通过SECS / GEM工厂自动化接口提供的测量结果实时在一个完整的测量系统。该WSMS的优点包括:
• 全自动
• 最低的检出限制
• 更快地取得测量结果
• 实时操作过程
• 通过精密,无错,加药,稀释,混合和传递到两个VPD和ICP-MS的操作精确测量
• 无需人工较准, 降低成本
Utilities Dimension
Power : 220/110 V, 2.2 kW
DI water : 1.5 bar (20 psi), 2 l/h
Nitrogen : 1.5 bar (20 psi), 0.7 m3/h
Exhaust : 50 m3/h
Drain Depth : 1507 mm
Width : 2065 mm
Height : 2140 mm
Table Top : 945 mm
Weight : 1100 kg

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 1人次免费技术培训

免费仪器保养: 定期维护

保内维修承诺: 保修期内无认为损坏,免费更换零件

报修承诺: 48小时内到达现场

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