IDONUS,紫外LED光刻曝光系统
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¥10万 - 30万

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IDONUS

暂无样本

UV-EXP150R

--

欧洲

  • 金牌
  • 第5年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

组件类别: 其他

 Idonus基于高功率LED和高档微透镜阵列的基础上提出了一个 GE MING性的紫外光照系统。
这个产品应用于光刻胶曝光工艺,适用多种基材。光照质量保证了高的同质性的临界尺寸和整个面上的侧壁角。实际上,由于使用了一种完全远心的光学,我们的设计提供了完美的稳定光照条件,即整个表面的高同质性的强度和低的发散角。

    可以根据用户需求进行产品开发定制,可以极大缩短您的想法变成产品的时间。

123 1234

LED BENEFITS优点
目前随着LED技术的发展,紫外LED表现出了比汞光源更大的优势。
● 长寿命LED,测试不需要耗材
● 不需要每天校准,即刻稳定光照
● 有限的发热,这降低了空气冷却费用
● 低功率消耗
● 光源仅仅在曝光时开启(不需要快门)
● 用户可以根据需求进行照射系统定制。
也可以按照用户旧机器的尺寸设计照射系统,以替代旧的机器上的汞灯照射系统。

TYPICAL PERFORMANCES 典型参数
分辨率 :0.5 μm
光学功率 :20 to 200 mW/cm2
曝光区域 :50x50 to 300x300 mm2
光学辐照不均匀性 : ±2%
ZUI大发散角(FWHM) :±1.5°to 3°
波长 :365 / 385 / 405 nm
光谱半宽幅 :12 nm
设备尺寸 : 65x30x30 cm3
总功率 :20 to 1200 W

EXAMPLE SYSTEM SPECIFICATIONS 系统规格举例
可能的曝光系统的不同配置如下表所示,系统可以根据您的需要设计。

System Type 系统型号

A

B

C

Resolution [um] 分辨率

2

1

1

Optical power [mW/cm2] 光学功率

42

152

165

Exposition area [mm2] 曝光面积

80x80

100x100

300x300

Optical irradiance inhomogeneity [%] 

光照幅度不均匀性

±2

±2

±2

Max divergence angle [°] (Full Width Half Maximum)
最大发散角(半宽幅)

±2.5°

±1.5°

±1.5°

Wavelength [nm] 波长

405

365

385

Spectrum half width [nm]  光谱半宽幅

12

12

12

System size [cm]  系统尺寸

65x30x30

65x30x30

1100x60x60

Power consumption [W] 功耗

20

180

1200


售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 免费提供产品培训及安装

免费仪器保养: 质保期内,供方为检修设备发生的所有费用由供方承担

保内维修承诺: 供方免费质保1年,厂家终身维修并保证零配件供应

报修承诺: 若设备发生问题,对相关的技术问题能在24小时内及时进行响应,供方可通过电话、传真

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IDONUS光学仪器组件UV-EXP150R的工作原理介绍

光学仪器组件UV-EXP150R的使用方法?

IDONUSUV-EXP150R多少钱一台?

光学仪器组件UV-EXP150R可以检测什么?

光学仪器组件UV-EXP150R使用的注意事项?

IDONUSUV-EXP150R的说明书有吗?

IDONUS光学仪器组件UV-EXP150R的操作规程有吗?

IDONUS光学仪器组件UV-EXP150R报价含票含运吗?

IDONUSUV-EXP150R有现货吗?

IDONUS,紫外LED光刻曝光系统信息由皕赫科学仪器(上海)有限公司为您提供,如您想了解更多关于IDONUS,紫外LED光刻曝光系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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