仪器简介：
四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置。它可以测量片
状、块状半导体材料径向和轴向电阻率，测量片状半导体材料的电阻率和扩
散层的薄层电阻（0.01um）（方块电阻）。换上特制的四探针测试夹，还可
以以金属导体的低、中值电阻进行测量。
仪器由电气箱、测试架等部份组成，测试结果由数字直接显示。电气箱主要
由高灵敏度直流数字电压表和高稳定恒流源组成。测试架探头采用宝石导向
轴套和高耐磨碳化钨探针。故定位准确、游移率小、寿命长。仪器具有测量
精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围宽、结构紧凑、使用方便等特点。
仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材
料的电阻性能测试。
技术参数：
型号：L510286
电阻率：10(-4)～10(3)Ωcm；
方块电阻：10(-3)～10(4)Ω；
电阻：10(-6)～10(5)Ω；
恒流源：直流电流100μA～100mA；
误差：±0.5%±2字；
外形尺寸 400╳120╳400mm；
功耗：12W；净重：15kg；
产地：中国
主要特点：
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