¥80万 - 100万
凯斯安
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i-Wafer
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欧洲
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德国KSI-凯斯安i-Wafer型
全自动晶圆超声波缺陷检测系统
i-Wafer系列是一款高端仪器，操作人员可选择接收/拒绝标准，手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下，晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测
新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点：
- 扫描速度高达2000mm/s
- 新型换能器
- 高质画面
- 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能
- 能发现只有几微米的缺陷
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保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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