面议
百及纳米
暂无样本
P-SPL21
--
欧洲
为您推荐相似的其他
百及纳米ParcanNano 探针电子束光刻机P-SPL21
简介：
公司以全球首家专利的针尖技术为核心竞争力，技术源自于德国伊尔默瑙工业大学，致力于主动式针尖技术在微纳米结构制备和表征方面的研发，及其相关设备的产业化。
公司研制一套基于扫描针尖低能电子场发射的原理、采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。可在大气环境下，高经济效益、快速直写5纳米以下结构和制备纳米级器件。该系统的闭环回路可实现使用同一扫描探针对纳米结构的成像、定位、检测和操纵。
技术特点：
。场发射低能电子束
。大幅降低电子束背底散射
。几乎消除电子束临近效应
。光刻5纳米以下单线宽结构
。光刻结构间距小于2纳米
。接近原子级分辨的套刻精度
。线写速度高达 300 μm/s
。大气环境下可实现正负光刻
。正光刻流程无需显影步骤
。无需调制电子束聚光
。大范围分步重复工艺
。Mix & Match 混合光刻模式
。针尖曝光与结构成像实时进行
。真空原位观测光刻图案
功能指标
保修期: 1年
是否可延长保修期: 否
现场技术咨询: 无
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
百及纳米其他半导体检测仪P-SPL21的工作原理介绍
其他半导体检测仪P-SPL21的使用方法?
百及纳米P-SPL21多少钱一台?
其他半导体检测仪P-SPL21可以检测什么？
其他半导体检测仪P-SPL21使用的注意事项？
百及纳米P-SPL21的说明书有吗？
百及纳米其他半导体检测仪P-SPL21的操作规程有吗？
百及纳米其他半导体检测仪P-SPL21报价含票含运吗？
百及纳米P-SPL21有现货吗？
