德国Nano analytik扫描针尖电子束光刻机SPL

报价

¥400万 - 500万

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品牌

样本

暂无样本

型号

SPL

荣誉奖项

产地

欧洲

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

金牌
第5年
一般经销商

营业执照已审核

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核心参数

产地类别： 进口

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产品详情

德国Parcan（Nano analytik)扫描针尖电子束光刻机SPL

简介：

公司以全球独家专利的针尖技术为核心竞争力，技术源自于德国伊尔默瑙工业大学，致力于主动式针尖技术在微纳米结构制备和表征方面的研发，及其相关设备的产业化。

公司研制一套基于扫描针尖低能电子场发射的原理、采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。公司致力于为微纳米制造企业提供制备微纳米功能结构和功能器件（比如最高速且最省电的基于单电子器件的芯片）的高性能设备和技术服务。

技术特点：

。场发射低能电子束
。大幅降低电子束背底散射
。几乎消除电子束临近效应
。光刻5纳米以下单线宽结构
。光刻结构间距小于2纳米
。接近原子级分辨的套刻精度
。线写速度高达 300 μm/s
。大气环境下可实现正负光刻
。正光刻流程无需显影步骤
。无需调制电子束聚光
。大范围分步重复工艺
。Mix & Match 混合光刻模式
。针尖曝光与结构成像实时进行
。真空原位观测光刻图案

售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期: 否

现场技术咨询: 无

免费培训: 免费安装及技术培训

免费仪器保养: 6个月一次。

保内维修承诺: 经确认质量问题，免费更换。

报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修

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电子束曝光SPL的工作原理介绍

电子束曝光SPL的使用方法?

SPL多少钱一台?

电子束曝光SPL可以检测什么？

电子束曝光SPL使用的注意事项？

SPL的说明书有吗？

电子束曝光SPL的操作规程有吗？

电子束曝光SPL报价含票含运吗？

SPL有现货吗？

德国Nano analytik扫描针尖电子束光刻机SPL信息由深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于德国Nano analytik扫描针尖电子束光刻机SPL报价、型号、参数等信息，蓝星宇客服电话：400-860-5168转4527，欢迎来电或留言咨询。

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