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量产型 薄膜封装专用 原子层沉积系统(R2R ALD)主要应用于有机半导体（（Micro)OLED,QD,OPV,钙钛矿光伏....)在线批量生
产的薄膜封装（TFE）.可对平板Panel或柔性(Flexible)基底进行卷对卷（R2R）封装.
在OLED Panel厂产线有广泛应用！
主要应用：
-硅基WVTR(水蒸气透过率)的阻挡层
-Micro-OLED封装层
-柔性衬底用阻挡层
-OLED封装层
-柔性OLED显示器、柔性OLED照明、量子点、柔性太阳能电池等高水分阻隔膜的卷对卷（R2R)ALD工艺：
特点：
1.ALD超薄高k介质,厚度均匀性好，100%保形步进覆盖。
2.先进的工艺套件和小体积的短周期室
3.极限地实现了ALD机构(行波法)
4.小脚印全集成工艺模块
5.过程控制方便，供气线路长度最小。
应用尺寸：370*470mm,730*920mm,1500*1850mm....
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 根据需要
免费仪器保养: 简单易于维护
保内维修承诺: 终身维修
报修承诺: 24小时对应
瞬态光电流（TPC）/瞬态光电压（TPV）测量系统
HAMAMATSU 日本滨松EMMI/OBIRCH微光显微镜PHEMOS系列
CV仪/汞探针(美国四维公司)Four Dimensions,Inc.(4D)
速普仪器【SuPro】薄膜应力测量仪FST5000
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光学表面缺陷分析仪
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德国UniTemp 回流焊炉RSS-160,RSS-210
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Laser Annealing,激光快速退火炉
南通宏腾微电子技术有限公司
DAGE X-Ray
北京锐峰先科技术有限公司
